C-FLEX半導體專(zhuān)用測力臂軸承
C-FLEX薄壁軸承來(lái)自 Carter 的產(chǎn)品被廣泛應用于整個(gè)半導體制造領(lǐng)域。在這個(gè)自動(dòng)化程度很高的高科技行業(yè)中，C-FLEX將重量輕、尺寸小和極高的精度能力相結合，使其纖薄的薄型軸承成為幾乎所有半導體制造工藝中的流行選擇。從晶圓探針到定位器和拾取/放置機器人再到真空沉積系統，只要精密設備需要移動(dòng)或旋轉，Carter 提供的C-FLEX工程薄截面軸承解決方案可以滿(mǎn)足這些應用的需求。
C-FLEX用于半導體制造的薄壁軸承產(chǎn)品組合可現貨供應或完全定制，以**限度地提高性能并**限度地減少半導體制造操作中的摩擦、污染、腐蝕、脫氣和磨損。專(zhuān)業(yè)的卡特軸承工程師在半導體制造機械和工藝的特定設計需求方面經(jīng)驗豐富，可以就高真空（10 -8 至 10 -12 ）操作的**材料和潤滑劑提供建議 Torr）和局部溫度高于 250°C。他們還可以就如何減少微粒的產(chǎn)生以及在腐蝕性化學(xué)環(huán)境中使用的薄截面軸承的公差提供建議。在一些專(zhuān)門(mén)的半導體制造應用中，C-FLEX混合軸承提供了改進(jìn)的扭矩特性，還可以延長(cháng)軸承在邊緣潤滑應用中的服務(wù)。我們的行業(yè)經(jīng)驗豐富的工程師也可以就此提供建議。
C-FLEX薄截面軸承是空間狹小且重量減輕很重要的高速、平穩扭矩應用的理想解決方案。如有需要，軸承可以具有一個(gè)共同的滾道，兩個(gè)軸承路徑同時(shí)磨削并一起“跳動(dòng)”，這種設計有助于消除可能由軸向跳動(dòng)變化引起的任何潛在額外扭矩。同樣，卡特專(zhuān)家工程師可以就此提出建議。Carter C-FLEX系列中的其他產(chǎn)品提供單個(gè)外滾道和單個(gè)內滾道。這有助于提供優(yōu)化的扭矩性能當薄截面、角接觸 C-FLEX軸承成對或堆疊時(shí)，安裝過(guò)程中是否會(huì )出現不對中（或方向錯誤） 。
C-FLEX薄壁軸承用于半導體制造應用的一個(gè)關(guān)鍵設計優(yōu)勢是可以為軸承指定密封（或屏蔽），而無(wú)需增加所需空間。Carter 專(zhuān)業(yè)的半導體行業(yè)工程師將就可在大氣環(huán)境中使用的密封件或應考慮用于真空或其他潔凈室環(huán)境的防護罩提出建議。設計人員應注意，由于防護罩和內圈之間的接觸為零，因此在使用Silverthin薄型軸承時(shí)，不會(huì )產(chǎn)生扭矩損失、不會(huì )產(chǎn)生顆粒、不會(huì )產(chǎn)生熱量或性能下降。
經(jīng)驗豐富的卡特半導體機械設計精密軸承團隊位于牛津附近，處于以泰晤士河谷為中心的以賽車(chē)運動(dòng)、核能、醫療、國防和航空航天工業(yè)為中心的高科技集群中。Carter 的專(zhuān)家員工都是訓練有素的工程師，他們?yōu)榭蛻?hù)提供獨特的經(jīng)驗、能力和專(zhuān)業(yè)知識。至關(guān)重要的是，他們還可以讓客戶(hù)訪(fǎng)問(wèn) Carter 的研發(fā)部門(mén)，提供我們認為是英國**進(jìn)的軸承模擬軟件，以幫助為高科技、要求苛刻的半導體制造機械選擇和/或設計理想的軸承和應用。
C-FLEX薄壁軸承的典型半導體制造應用：
大氣和真空轉移
CVD系統
切割設備
貼片機
點(diǎn)膠
蝕刻系統
檢測設備
研磨設備
機械手
測量系統
機械拋光機
機械拋光機
聲波清洗系統
光刻
拾取和放置機器人
定位器
探測站
機器人
